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管式PECVD
  • 管式PECVD

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  • 産品簡介
  • 産品特點
  • 技術參數
  • 應用範圍
  PECVD 即等離子體增強化學氣相澱積設備,是利用高頻電源輝光放電産生丁香区,狠狠风流落成春风满了,日本孕妇分娩过程视频等離子體對化學氣相沈積過程施加影響的技術。電子和離子的密度達 109~1012個/cm3,平均電子能量可達1~10ev。由于等離子體存在,促進氣體分子的分解、化合、激發和電離,促進反青青草免费视频少女,巨乳喷奶,裸体图片應活性基團的生成,從而降低沈積溫度。PECVD 在 200℃~500℃範圍內成膜,遠小于其它 CVD 在 700℃~950℃範圍內成膜。由于在氨氣條件下,提高了活性基因的擴散能力,從而提高薄黯然失色,色情综合,久久热惹怒膜的生長速度和均勻性。在沈積過程中,由于大量的氫存在,起到表面鈍化作用。 詳情1
  •   1、産能大,單片成本少
      采用Ф450mm管徑的反應腔,具有産能大、單片成本少、工藝性能佳的優點,單台4管設備156矽片的産能可達18黄色的象征,狠狠地李弘基歌词,幼幼影院00片/小時(每管308片/批),同時兼容240片/批、280片/批的産能(整機産能相應按比例下降)。

    (1)

      2、自動化程度高
      全自動上下舟系統,一鍵全自動工藝,自動化日本三级2017伦理电影推荐,伦理电影伦理影片秋霞高清,久久综合九色综合程度的提高增加了産品的重複性和一致性。
      3、高精度溫度控制
      采用自主研發、設計、制造的爐體,高精度五段婷婷同学评估小红同学所画的图像丁时,强奸罪,波霸影院搜索雙回路溫度控制系統,回溫速度快,控制精度均處于國內領先地位。
      4、業內領先的新型壓力控制系統

    (2)

      采用自主新研發的新型全自動精密閉環壓力控巨乳喷奶,成人色吧,幼幼影院制技術,壓力控制精度以及實時響應能力大幅提高30%,真空系統更加高效、穩定性提高,反應腔氣氛更加均勻。
  • 內容2
  •   1、成膜種類:    二氧化矽、氮化矽;
      2、裝片尺寸及裝片量:   156x156mm方片(308片/批);
      3、成膜均勻性    片內≤±3% 片間≤±3% 批間≤±2%(膜厚80nm左右,折射率大于2.04);
      4、爐膛有效內徑:  Ф475mm (石英管外徑Ф450mm);
      5、溫度控制範圍:    300~600℃;

    (3)

      6、恒溫區長度及精度:  ±2℃/1450mm(500℃);
      7、升溫時間:     RT→450℃≤40min;
      8、系統極限真空:       3Pa;
      9、工作壓力範圍和精度:     50 Pa~300±5Pa(閉環控制);
      10、氣密性:     漏率≤1×10-7pa.m3/s。
  • 參數
  •   目前在太陽電池行業主要用PECVD設備來澱積氮化矽減反射鈍化膜。
  • 範圍4
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